
SiPH Probe System
MPI為其著名的TS2000-SE,TS3000,TS3000-SE,TS3500和TS3500-SE探針系統設計了專用的SiPH升級,包括:
? 高精度光纖對準系統的各種選項,可用于超快速掃描程序
? 面向OO,OE,EO和EE設備配置的多種測量功能
? 集成的Z感應功能可檢測光纖與晶圓的接觸點
? 使用兩個光纖臂時的防撞保護
? -40°C至200°C的寬溫度范圍
? 可選的暗箱,用于在密閉環境中進行測試
? 廣泛的軟件包,支持輕松集成到操作員的測試執行人員