納米探針臺
納米探測面臨的挑戰
· 定位精度
· 安全（軟）著陸接觸
· 具有適當尖端半徑的可靠探針頭
· 清潔環境：試驗箱、樣品、探針頭
· 振動敏感性低
· 噪聲抑制
· 漂移補償
· 電路編輯/延遲：在FIB角度操作
全球首個155mm高頻專用探針臺，專為高達1.5THz或更高的mmW和THz晶圓上測量而設計；
無縫集成任何高達1.5THz的帶 差分或寬帶擴頻器；最大的機械穩定性和可重復性，結合方便和安全的操作；
4200A-SCS 是一種可以量身定制、全面集成的參數分析儀，可以同步查看電流電壓 (I-V)、電容電壓 (C-V) 和超快速脈沖式 I-V 特性。 作為性能最高的參數分析儀，4200A-SCS加快了半導體、材料和工藝開發速度。
納米探測面臨的挑戰
· 定位精度
· 安全（軟）著陸接觸
· 具有適當尖端半徑的可靠探針頭
· 清潔環境：試驗箱、樣品、探針頭
· 振動敏感性低
· 噪聲抑制
· 漂移補償
· 電路編輯/延遲：在FIB角度操作
· 快速圖像采集（每幀約5秒）
· 不需要更容易控制的反饋
· 原位應用，掃描電鏡可以用來確定投資回報率
· 與標準鎢探針頭配合使用
· picoamp分辨率，識別泄漏
· 污染物清除
· 適應您對工作流程的快速理解
· 相關的光鏡和電子顯微鏡，EBIC/EBAC，電流成像-獲得整個圖像
· 快速發現故障（開路、短路、連接泄漏、晶體管故障等）
上海市松江區廣富林東路199號啟迪漕河涇三期13幢2層
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